GB/T 8758-1988
砷化鎵外延層厚度紅外干涉測(cè)量方法
Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
GBT8758-1988, GB8758-1988
2006-11
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- GB/T 8758-1988
- 別名
- GBT8758-1988, GB8758-1988
- 發(fā)布
- 1988年
- 發(fā)布單位
- 國(guó)家質(zhì)檢總局
- 替代標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 8758-2006
- 當(dāng)前最新
- GB/T 8758-2006
- 適用范圍
- 本標(biāo)準(zhǔn)適用于砷化鎵外延層厚度的測(cè)定?？蓽y(cè)厚度大于2μm。要求襯底電阻率小于 0.02Ω·cm，外延層的電阻率大于0.1Ω·cm。