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正版标准0元购

GB/T 8758-2006
砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法

Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

GBT8758-2006, GB8758-2006


標準號
GB/T 8758-2006
別名
GBT8758-2006, GB8758-2006
發(fā)布
2006年
總頁數(shù)
7頁
發(fā)布單位
國家質(zhì)檢總局
當前最新
GB/T 8758-2006
 
 
被代替標準
GB/T 8758-1988
適用范圍
本標準適用于砷化鎵外延層厚度的測量,測量厚度大于2μm。要求襯底材料的電陰率小于0.02Ω?cm,外延層的電陰率大于0.1Ω?cm。
砷化鎵外延片
Gallium Arsenide Epitaxial Wafer
一種半導體材料,用于電子器件制造,具有高遷移率和直接帶隙特性。
折射率
Refraction Index
光在介質(zhì)中傳播時的折射性質(zhì),用于計算光學常數(shù)。
反射光譜
Reflectance Spectrum
材料表面反射光的波長分布特性,用于分析干涉條紋。

GB/T 8758-2006 中提到的儀器設(shè)備

紅外分光光度計

波長范圍2.5 μm~50 μm或4000 cm?1~200 cm?1,重復性誤差不大于0.05 nm,在10 μm處光譜分辨率為0.02 μm。
用于測量材料的反射光譜和吸收光譜。
傅里葉變換紅外光譜儀

同上。
用于分析紅外光譜信號,支持反射附件和黑體材料制成的多種孔徑光闌。

專題


GB/T 8758-2006相似標準


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