半導(dǎo)體集成電路(英文名:semiconductor integrated circuit),是指在一個(gè)半導(dǎo)體襯底上至少有一個(gè)電路塊的半導(dǎo)體集成電路裝置。 半導(dǎo)體集成電路是將晶體管,二極管等等有源元件和電阻器,電容器等無(wú)源元件,按照一定的電路互聯(lián),“集成”在一塊半導(dǎo)體單晶片上,從而完成特定的電路...
集成電路在大約5mm×5mm大小的硅片上,已集成了一臺(tái)微型計(jì)算機(jī)的核心部分,包含有一萬(wàn)多個(gè)元件。集成電路典型制造過(guò)程見(jiàn)圖1。從圖1,可以看到,已在硅片上同時(shí)制造完成了一個(gè)N+PN晶體管,一個(gè)由 P型擴(kuò)散區(qū)構(gòu)成的電阻和一個(gè)由N+P結(jié)電容構(gòu)成的電容器,并用金屬鋁條將它們連在一起。實(shí)際上,在一個(gè)常用的...
集成電路如果以構(gòu)成它的電路基礎(chǔ)的晶體管來(lái)區(qū)分,有雙極型集成電路和MOS集成電路兩類。前者以雙極結(jié)型平面晶體管為主要器件(如圖2),后者以MOS場(chǎng)效應(yīng)晶體管為基礎(chǔ)。圖3表示了典型的硅柵N溝道MOS集成電路的制造工藝過(guò)程。一般說(shuō)來(lái),雙極型集成電路優(yōu)點(diǎn)是速度比較快,缺點(diǎn)是集成度較低,功耗較大;而MOS...
1)原材料控制。包括對(duì)掩膜版、化學(xué)試劑、光刻膠、特別對(duì)硅材料等原材料的控制。控制不光采用傳統(tǒng)的單一檢驗(yàn)方式,還可對(duì)關(guān)鍵原材料采用統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制(statisticalprocesscontrol,SPC)技術(shù),確保原材料的質(zhì)量水平高,質(zhì)量一致性好?! ?)加工設(shè)備的控制。除采用先進(jìn)的設(shè)備進(jìn)行工藝...
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