ISO 11039:2012
表面化學(xué)分析.掃描探針顯微鏡.漂移率的測定標準
Surface chemical analysis - Scanning-probe microscopy - Measurement of drift rate
- 標準號
- ISO 11039:2012
- 發(fā)布
- 2012年
- 發(fā)布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 11039:2012
- 引用標準
- ISO 18115-2
- 適用范圍
- 本國際標準定義了表征掃描探針顯微鏡 (SPM) 儀器在 X 和 Y 方向上的漂移率的術(shù)語并規(guī)定了測量方法，以及對于測量形貌的 SPM 儀器在 Z 方向上的漂移率。 盡管長期漂移率的行為可能是非線性的，但長期漂移率的行為以及用戶定義的穩(wěn)定時間之后的短期漂移率的行為都可以通過典型平均漂移率或典型最大漂移率來表征。 本國際標準適用于基于SPM圖像評估漂移率。 它旨在幫助制造商以有意義且一致的方式引用規(guī)格中的漂移數(shù)據(jù)，并幫助用戶表征漂移行為，以便設(shè)計有效的實驗。 這些測量并不是為圖像校正而設(shè)計的。