GB/T 4298-1984
半導(dǎo)體硅材料中雜質(zhì)元素的活化分析方法
The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
GBT4298-1984, GB4298-1984
2017-12
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- GB/T 4298-1984
- 別名
- GBT4298-1984, GB4298-1984
- 發(fā)布
- 1984年
- 總頁數(shù)
- 18頁
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 4298-1984
- 適用范圍
- 本標(biāo)準(zhǔn)適用于單晶硅、多晶硅中金屬雜質(zhì)元素和非金屬雜質(zhì)元素含量的測定。