半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性很大程度上受表面的微觀狀態(tài)影響，在切割、研磨、拋光以及各種化學(xué)試劑處理等工序下，器件表面的結(jié)構(gòu)會產(chǎn)生很大變化，所以幾乎每一個(gè)半導(dǎo)體工藝之后都需要專用的檢測設(shè)備觀察或測量半導(dǎo)體器件的微觀形貌。半導(dǎo)體工藝中對掃描電子顯微鏡的需求主要有兩大方向：一是發(fā)揮其放大功能，對IC器件的正面...
點(diǎn)擊上方 “TESCAN公司” 關(guān)注我們開學(xué)啦！自本月起TESCAN電鏡學(xué)堂將為大家連載《掃描電子顯微鏡及微區(qū)分析技術(shù)》(本書簡介請至文末查看)，幫助廣大電鏡工作者深入了解電鏡相關(guān)技術(shù)的原理、結(jié)構(gòu)以及最新發(fā)展?fàn)顩r，將電鏡在材料研究中發(fā)揮出更加優(yōu)秀的性能！TESCAN“電鏡學(xué)堂”系列和“RISE大招...
掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器,具有很多優(yōu)越的性能,是用途最為廣泛的一種儀器,它可以進(jìn)行如下基本分析: (1)三維形貌的觀察和分析； (2)在觀察形貌的同時(shí),進(jìn)行微區(qū)的成分分析?！ ∮^察納米材料。所謂納米材料就是指組成材料的顆?；蛭⒕С叽缭?. 1～100 nm范圍內(nèi),在保持表面潔凈的...
直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100 mm, 高50 mm, 或更大尺寸的試樣, 對試樣的形狀沒有任何限制, 粗糙的表面也能觀察, 這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背反射電子象)?！ ∮^察厚試樣。其在觀察厚試樣時(shí),能得到高的分辨率和最真實(shí)的形貌...
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