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ISO 17973:2002
表面化學(xué)分析.中分辨率螺旋電子光譜儀.元素分析用能量標(biāo)度的校準(zhǔn)

Surface chemical analysis - Medium-resolution Auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental analysis


標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
ISO 17973:2002
發(fā)布
2002年
中文版
GB/T 29732-2013 (修改采用的中文版本)
發(fā)布單位
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織
替代標(biāo)準(zhǔn)
ISO 17973:2016
當(dāng)前最新
ISO 17973:2024
 
 
適用范圍
本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了不確定度為 3 eV 的俄歇電子能譜儀動(dòng)能標(biāo)度的校準(zhǔn)方法,用于識(shí)別表面元素的一般分析用途。 此外,它還規(guī)定了建立校準(zhǔn)計(jì)劃的方法。 它適用于直接模式或差分模式下使用的儀器,其中分辨率小于或等于 0.5%,并且差分模式(如果使用)的調(diào)制幅度為 2 eV 峰峰值。 它適用于配備惰性氣體離子槍或其他樣品清潔方法以及能夠在4 keV或更高束流能量下工作的電子槍的光譜儀。

專題


ISO 17973:2002相似標(biāo)準(zhǔn)


ISO 17973:2002 中可能用到的儀器設(shè)備


誰引用了ISO 17973:2002 更多引用





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