導(dǎo)讀顯微分析技術(shù)重要的設(shè)備包括:光學(xué)顯微鏡(OM)、雙束掃描電子顯微鏡(DB-FIB)、掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)。今天的文章將介紹DB-FIB的原理及應(yīng)用,重點(diǎn)介紹廣電計(jì)量DB-FIB的服務(wù)能力及DB-FIB應(yīng)用于半導(dǎo)體分析相關(guān)的案例。什么是DB-FIB雙束掃描電子顯微鏡...
掃描電子顯微鏡的探針——高能電子的性質(zhì)使其特別適合于檢查半導(dǎo)體材料的光學(xué)和電子特性。掃描電鏡電子束中的高能電子將把載流子注入半導(dǎo)體。因此,電子束中的電子通過(guò)使電子受激從價(jià)帶進(jìn)入導(dǎo)帶而失去能量,留下空穴。 在直接帶隙材料中,這些電子-空穴對(duì)的復(fù)合將產(chǎn)生陰極射線發(fā)光;如果樣品含有內(nèi)部電場(chǎng),如pn結(jié)...
隨著科學(xué)技術(shù)不斷進(jìn)步,微束分析技術(shù)在材料、生命等領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。然而,不同實(shí)驗(yàn)機(jī)構(gòu)之間的微束分析結(jié)果存在差異,給研究帶來(lái)諸多困擾。因此,通過(guò)推廣微束分析技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化的制定、修訂工作,不僅能提高科學(xué)實(shí)驗(yàn)工作效率,還能促進(jìn)技術(shù)發(fā)展和創(chuàng)新。電子顯微鏡作為最具代表性的微束分析儀器之一,可直接觀察納米級(jí)...
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