ASTM E986-04(2017)
掃描電子顯微鏡光束尺寸表征的標準實踐

Standard Practice for Scanning Electron Microscope Beam Size Characterization

被代替

適用范圍: 1.1 這種做法提供了一種可重復的方法，通過該方法可以表征掃描電子顯微鏡（SEM）性能的一個方面。 SEM 的分辨率取決于許多因素，其中一些因素是電子束電壓和電流、透鏡像差、樣品對比度以及操作員-儀器-材料相互作用。然而，任何條件下的分辨率都受到電子束尺寸的限制。該尺寸可以通過測量多種材料的有效表觀邊緣銳度來量化，建議使用其中兩種材料。這種做法需要 SEM 能夠?qū)ㄗh的材料執(zhí)行線掃描跟蹤，例如生成 Y 偏轉(zhuǎn)波形。這種做法適用的 SEM 放大倍數(shù)范圍為 1000 至 50 000 ×?？梢試L試更高的放大倍數(shù)，但預計難以進行精確測量。
1.2 本標準并不旨在解決與其使用相關(guān)的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當?shù)陌踩徒】祵嵺`并確定監(jiān)管限制的適用性。
1.3 本國際標準是根據(jù)世界貿(mào)易組織貿(mào)易技術(shù)壁壘（TBT）委員會發(fā)布的《關(guān)于制定國際標準、指南和建議的原則的決定》中確立的國際公認的標準化原則制定的。