氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會(huì)選擇氦氣作為主要的示漏氣體?
氦質(zhì)譜檢漏儀以及氦質(zhì)譜檢漏,在實(shí)際應(yīng)用中,氦質(zhì)譜檢漏顧名思義一般都會(huì)采用氦氣作為最主要的示漏氣體,這是為什么呢?
氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因?yàn)檫x用氦氣作為示漏氣體而得名,但實(shí)際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等,主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體,原因主要有以下幾點(diǎn):
1、氦氣的質(zhì)量輕,易于穿過(guò)漏孔,進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快,因此響應(yīng)快,檢漏靈敏度高。
2、氦離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場(chǎng)。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當(dāng)降低對(duì)分析器制造精度的要求,使質(zhì)譜室中氦離子通過(guò)的各個(gè)縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。
3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時(shí)本底信號(hào)小。
以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外,氦氣作為一種惰性氣體,性質(zhì)不活潑,不與真空器件起化學(xué)反應(yīng),無(wú)毒,也不會(huì)污染環(huán)境,因此使用起來(lái)也十分安全。