晶圓如何通過testkey監(jiān)控
晶圓特性測試系統(tǒng)由測試儀(tester)與探針臺(prober)共同組成,探針臺上具有包括多個探針的探針卡,在測試之前的第一步是將探針卡上的探針扎到零點(diǎn)testkey對應(yīng)的焊墊(pad)上,扎針動作由探針臺主導(dǎo);第一步扎針完成之后,需要在探針臺側(cè)進(jìn)行人工確認(rèn)扎針對應(yīng)的零點(diǎn)testkey位置和針跡效果,人工確認(rèn)沒有問題之后開始由測試儀主導(dǎo)進(jìn)行自動測試。tester系統(tǒng)為相對坐標(biāo)計(jì)算,所有坐標(biāo)以零點(diǎn)testkey為原點(diǎn),所以探針臺準(zhǔn)確扎針至零點(diǎn)testkey至關(guān)重要。
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