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冷熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的區(qū)別是什么

2021.7.29

1、適用范圍不同。

冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是一種用于材料科學(xué)、化學(xué)領(lǐng)域的分析儀器,而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是一種用于物理學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的分析儀器。熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡使用范圍更廣。

2、技術(shù)指標(biāo)不同。

冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡:

辨率:1.0nm (15kV),2.0nm (1kV),1.4nm(1KV)入射電子減速功能。放大倍率:×20 ~ ×800,000。加速電壓:0.5 ~ 30kV。X射線能譜儀分辨率/有效面積:不低于133eV,10mm2。

熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡:

放大倍數(shù):35—90萬(wàn)倍。分辨率:工作電壓15kV時(shí)分辨率為1.0nm。加速電壓:0.2Kv—30Kv。能譜:探測(cè)元素范圍B5-U92。能量分辨率:136eV。

3、主要功能不同。

冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是超顯微、形貌與成分分析相結(jié)合。而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是物理學(xué),材料科學(xué),能源科學(xué)技術(shù)。


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