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透射電子顯微鏡(TEM)的工作原理

2023.3.22

工作原理

透射電鏡和掃描電鏡一樣,利用聚焦電子束作為照明源,不同的是,透射電鏡是以透射電子為成像信號(hào),而掃描電鏡是以二次電子、背散射電子等為成像信號(hào)(如下圖所示)。

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由于透射電鏡樣品需要很薄,大部分電子會(huì)穿透樣品,其強(qiáng)度分布與所觀察樣品的形貌、組織、結(jié)構(gòu)一一對(duì)應(yīng)。透過樣品后的電子束經(jīng)物鏡匯聚調(diào)焦和初級(jí)放大后,電子束進(jìn)入下級(jí)的中間透鏡和第1、第2投影鏡進(jìn)行綜合放大成像,最終被放大的電子像投射在觀察室內(nèi)的熒光屏板供使用者觀察。圖像的明暗與樣品的原子序數(shù)、電子密度、厚度等相關(guān)。

透射電鏡按照加速電壓分類,可分為低壓透射電鏡(<200KV),高壓透射電鏡(200~400KV)和超高壓透射電鏡(>400KV)。按照分辨率可分為低分辨率和高分辨率透射電鏡。

為了方便對(duì)透射電鏡與掃描電鏡的結(jié)構(gòu)比較,大家可參考下面這個(gè)簡(jiǎn)略圖(其中,樣品位置不同是很大的不同點(diǎn))。

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透射電鏡和掃描電鏡在分辨力和焦點(diǎn)深度等方面也是不同的(如下圖所示)。

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