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掃描電鏡主要用于觀察哪些材料?原理是什么?

2020.2.21

  掃描電子顯微鏡(SEM)發(fā)明于1965年,是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)。掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。

  從原理上講,掃描電鏡是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。

  掃描電鏡具有以下優(yōu)點(diǎn):

  ①有較高的放大倍數(shù),20-200000倍之間連續(xù)可調(diào);

 ?、谟泻艽蟮木吧?,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);

  ③試樣制備簡單。

  目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置,這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析(即SEM-EDS)。

  掃描電鏡可以直接觀察觀察納米材料,進(jìn)行材料斷口的分析,直接觀察原始表面等。

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