技術(shù)特點(diǎn)
【技術(shù)特點(diǎn)】-- 日立高新S-4800冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
新型物鏡采用zl的ExB設(shè)計(jì)。使用單檢測(cè)器和超級(jí)ExB可以分別收集和分離單純二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號(hào)。
1KV低加速電壓,不使用減速功能,可保證有2.0nm的分辨率。
兩種樣品臺(tái)可選:I型50mm x 50mm標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)或Ⅱ型110mm x 110mm大樣品臺(tái)。
包括磁懸浮渦輪分子泵在內(nèi)的先進(jìn)的真空系統(tǒng)。
光闌自清潔技術(shù),避免了光闌的污染。
【技術(shù)特點(diǎn)對(duì)用戶帶來(lái)的好處】-- 日立高新S-4800冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
【典型應(yīng)用舉例】-- 日立高新S-4800冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
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掃描電鏡SEM
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