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電子特氣的品質(zhì)主要取決于其純度和凈度,一旦純度或是凈度不達(dá)標(biāo),輕則使得下游產(chǎn)品質(zhì)量不過關(guān),重則擴(kuò)散污染整條產(chǎn)品線,造成嚴(yán)重浪費(fèi)。為了保證產(chǎn)品的合格率,避免經(jīng)濟(jì)損失,半導(dǎo)體制造商會對氣體供應(yīng)商提供的氣體純度做出嚴(yán)格要求,通過使用多種氣體純化技術(shù)并實(shí)時連續(xù)監(jiān)測氣體純度,以確保輸送到制造全過程的超純氣體的質(zhì)量。
雪迪龍公司為半導(dǎo)體制造商提供過程氣體分析一站式解決方案,在電子特氣進(jìn)入硅晶圓制造工藝之前,就開啟連續(xù)監(jiān)測,并通過自主研發(fā)的軟件包實(shí)時分析和反饋,滿足對晶圓制造過程中各種氣體及雜質(zhì)進(jìn)行在線實(shí)時監(jiān)測的需求。