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北京卓立漢光儀器有限公司
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當(dāng)前位置： 卓立漢光 薄膜應(yīng)力測(cè)試儀
品牌：卓立漢光 型號(hào)：SPM300 產(chǎn)地：中國

SPM300 激光共聚焦拉曼應(yīng)力檢測(cè)系統(tǒng)產(chǎn)品概述在半導(dǎo)體制造過程中，諸如退火、切割、光刻等工序會(huì)在材料中引入應(yīng)力。這些應(yīng)力可分為張應(yīng)力和壓應(yīng)力，分別對(duì)應(yīng)拉伸和壓縮作用。適當(dāng)?shù)膽?yīng)力有助于提升器件性能，例如在硅...

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